与其他类型的压力传感器相比，溅射薄膜压力传感器的优势是什么？

溅射薄膜压力传感器的核心优势解析一、制造工艺优势纳米级精密沉积膜厚控制精度±3nm（传统应变计±50μm）真空溅射温度＜150℃（避免基材热变形）对比：粘结式应变计存在胶层蠕变风险微结构特性二、性能参数对比参....

分类：压力/称重/力(敏)传感器 时间：2025-06-06 阅读：147