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新一代无损检测设备“超级针”X射线成像系统问世

类别:科研焦点      出处:阿仪网      发布于:2018-11-02 15:53:05 | 165 次阅读

     导读:随着我国集成电路产业快速发展,对集成电路封装检测装备需求日益凸显,而我国此类设备以中低端产品为主,高端设备则主要依赖国外进口,严重制约了我国集成电路产业的发展。

  随着芯片制造及封装过程中越来越多地使用轻元素材料,对设备应用场景要求更加多样化。更高分辨率、更高对比度、更大检测范围的X射线检测装备已成为行业急需。

  近日,中国电科38所发布自主研制的新一代无损检测设备——“超级针”X射线成像系统,这是全国首台“超级针”X射线成像系统。该系统拥有“火眼金睛”般的缺陷检测能力,成像分辨率小于1微米,相当于发丝的1%,可应用于集成电路、军工航天、汽车电子、医疗诊断、文物保护等多个领域。

  微焦点X射线成像系统是工业无损检测的常规必备设备,广泛应用于集成电路、电子器件等各种器材的无损检测。中国电科38所“超级针”X射线成像系统采用独特的“超级针”X射线源专利技术,可在图像增强器上形成被扫描物体的透视图像。该设备采用全国首创的“超级针”X射线源,因而以“超级针”冠名,具有成像清晰、性能稳定、洁净度高、超低辐射、低能成像等优点,在硅、铝、铜、陶瓷等轻元素材料的精密检测方面优势明显,已申请国内外发明专利30余项。


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